据了解，微导纳米以原子层沉积(atomiclayerdeposition，以下简称“ald”)技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案
公司以原子层沉积(atomiclayerdeposition，以下简称“ald”)技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案
随后，梅耶伯格站队隆基:“韩华声称是基于使用原子层沉积（ald），与隆基使用的制造工艺不同；目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。”
行业专家认为，技术上看，目前隆基、晶科等公司的perc技术产品采用的是pecvd技术，与涉案韩华专利采用的ald技术技术方法并不一致；此外韩华诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得，其专利权与其他公司共有
对于上述起诉，隆基股份方面表示，从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致（专利技术采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术），同时表示：“根据媒体信息初步分析显示，韩华新能源诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得
隆基绿能也于同日发布声明称，目前公司所采用的是pecvd技术，与涉案专利采用的ald技术并不相同。...据了解，太阳能电池背面钝化技术在业内并非垄断性技术，其基本原理在上世纪七八十年代就已产生，2010年左右应用到产业，中国企业对这项技术已在数年前取得突破性进展，达到国际领先水平，推动了光伏发电降本提效。
2019年3月6日，韩华发表声明称晶科能源、隆基股份及rec等三家公司侵犯了其钝化技术专利，隆基方面则在声明中表示，隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ald技术，而隆基采用的是pecvd
总部位于瑞士图恩的meyer burger认为，hanwha声称是基于使用原子层沉积（ald），与隆基使用的制造工艺不同。目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。
隆基表示，有争议的专利与ald技术有关，隆基采用的是pecvd技术。相关链接：韩华起诉晶科、隆基和rec侵犯其专利权，最新回应来了!...“这两家公司提供的产品使用的技术，我们相信是受澳大利亚专利保护的，我们采取这些行动，既是为了保护我们的产权，也是为了让市场相信，开发未来技术的研发计划能够继续下去。
隆基股份表示，从技术上看，目前公司产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，事涉专利采用的是ald技术，而公司采用的是pecvd技术；另据媒体信息初步分析，韩华诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得
从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术。...隆基股份官方微信公众号部分内容截图隆基还进一步解释，目前该专利技术至少已经在欧洲被其他人发起专利无效，专利权稳定性存在较大不确定性。
从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致（专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术）。仅根据现有媒体信息分析显示，目前相关诉讼对隆基的生产、经营不会造成实质性影响。
有了金属化配套，通威，日升等一线大厂在未来的扩产道路上会继续选择ald作为主要的单晶perc配套技术。...在2018年的新增perc产能中，以双面氧化铝钝化技术为代表的管式ald（单插片）工艺路线被多家一线企业采用，如通威、东方日升、横店东磁等。
江苏微导纳米装备股份有限公司首席技术官黎微明博士介绍了全球首发的kf6500原子层沉积（ald）钝化设备。...黎博士指出，江苏微导实现了高效晶硅电池量产关键技术的多个突破：n-pert电池保持国产高效电池最高量产效22%；p-perc电池突破技术瓶颈，在多家光伏标杆企业实现量产；ald技术成功用于perc电池量产电池效率达
(2)ald 技术引用，进一步降低非硅成本钝化技术中，ald 技术性价比更高：背钝化材料中，氧化铝是目前市场首选。而影响背面钝化成本的两个核心因素是氧化铝膜厚度和tma 使用量。
，在降低成本的同时提升转换效率配合微导ald技术，为多晶光伏perc电池效率突破20%的提供最佳量产方案...cvd和ald技术完美结合高质量单面镀al2o3钝化膜高产能、低生产成本与“黑硅”技术相结合，为进一步增强perc转换效率提供了最佳解决方案wr系列-板式rie“黑硅”系统全自动在线rie“黑硅”技术超高产能和稳定工艺与金刚线切割技术完美结合
其中专门为新型高效太阳能电池的表面钝化所开发的原子层沉积（ald）技术，在不到一年的时间内就完成了从技术评估、设计定案、机械和工艺验证，直到完成最终的客户应用评估等工作，并于今年2月份在客户端获得了超21%
现有的ald量产技术都被国外的设备大厂如asm、amat、tel等垄断。微导正在开展的ald设备产品技术性能达到国际领先水平，打破国外垄断，填补了国内空白。
展望明年，除了主流机台仍旧订单满载之外，无法顺利购得机台的厂商为了不失去竞争力也会再做更多尝试，届时除了用pecvd镀氧化铝之外，也会有厂商选用ald技术，或是不愿冒机台风险的厂商可能会重新评估采用长兴材料集团的方式
solaytec旗下的ald技术已经被美国的missionsolar相中，并购买用来生产n型单晶双面太阳能电池，该产品预计将在2015年现半年进入量产阶段。...solaytec公司表示，韩华q cells将在其位于德国塔尔海姆的总部，使用先进技术设备对solaytec旗下inpassion系列ald系统在高效太阳能电池上的表现进行评估。
这一收购行动将solaytec的原子层沉积(ald)技术带进了amtech集团。solaytec的这套技术可用于p型perc和n型电池生产的升级。...amtech表示solaytecald工具将与tempresspecvd程序进行组合一并推出。amtech还将继续与rena合作推出其湿化学技术。amtech sytems总部位于亚利桑那州的坦佩。
这一收购行动将solaytec的原子层沉积(ald)技术带进了amtech集团。solaytec的这套技术可用于p型perc和n型电池生产的升级。...amtech表示solaytecald工具将与tempresspecvd程序进行组合一并推出。amtech还将继续与rena合作推出其湿化学技术。amtech sytems总部位于亚利桑那州的坦佩。
领先的台湾商业太阳能电池生产商日前也采用ald技术生产下一代perc太阳能电池。...现阶段，solaytec的ald氧化铝比竞争技术，如pecvdalox少消耗4-5。
在此基础上采用原子层沉积（ald）技术和卷对卷（rolltoroll）技术探索制备出低成本、大面积、柔性、高效太阳能电池，将极大地满足青岛乃至山东地区对低成本柔性光伏大棚等的需求。
运用纳米技术可以极大地提高光伏的光电转换效率，芬兰阿尔托大学的研究者通过ald技术与纳米技术研制的黑色电池是一个不错的例子。纳米结构的制备是通过等离子体刻蚀完成的，这可以极大地削弱光线的反射。
