近期被Amtech系统公司收购的光伏设备企业SoLayTec表示，其与韩华Q Cells就公司ALD(原子层沉积)系统的合作日前进入了评估测试阶段。
SoLayTec公司表示，韩华Q Cells将在其位于德国塔尔海姆的总部，使用先进技术设备对SoLayTec旗下InPassion系列ALD系统在高效太阳能电池上的表现进行评估。
“我们的目标是向太阳能产业表明，在晶硅太阳能电池的钝化工艺中使用空间ALD解决方案，相较于PECVD氧化铝具有更高的潜力。”SoLayTec公司联合创始人之一RogerGörtzen表示，“我们的空间ALD工具相较于PECVD所具有的最大的优势包括：较大的解阶梯覆盖、稳定的均匀性和三氧化二铝所要求的仅为5nm的叠层厚度。此外，如果在ALD电池工艺中，在SiN封层上直接使用PECVD，则可采用集成退火工艺，其最终制成的电池性能要比PECVD氧化铝工艺好得多。”
SoLayTec旗下的ALD技术已经被美国的MissionSolar相中，并购买用来生产N型单晶双面太阳能电池，该产品预计将在2015年现半年进入量产阶段。
Görtzen先生还指出公司在此次评估流程开始前已与韩华Q Cells进行了多年的对话沟通。
韩华SolarOne对韩华Q Cells的收购正在进行当中，但预计韩华Q Cells在整个集团中将继续保持其先进技术驱动地位。
原标题：韩华Q Cells对SoLayTec旗下ALD技术进行评估
