而从现实情况来看：目前晶硅提纯，使用的是改良西门子法生产工艺，生产过程中确实会产生副产物四氯化硅(高污染剧毒废液)以及氢气、氯气等。四氯化硅如果直接排放，遇潮湿空气即分解产生氯化氢，会造成环境污染。
只有实现了四氯化硅到三氯氢硅的循环，才能实现大规模、低成本的多晶硅生产。德国瓦克公司是当时世界领先的多晶硅生产企业，从1959年开始就已经是超纯多晶硅的工业级生产商。...多晶硅料的生产工艺主要有有四个步骤：第一步生产原料三氯氢硅；第二步是将三氯氢硅提纯；第三步将提纯后的三氯氢硅进入还原炉还原，得到纯高度的多晶硅；最后一步也是最关键的部分，在还原过程中会产生大量包括四氯化硅等在内的尾气
在多晶硅生产过程中，会产生四氯化硅等副产物，以往的回收技术难以对副产物进行有效处理，进而容易对环境造成污染。...、再处理与循环利用率从25%提升到99.9%，单线尾气处理能力达到每小时4.5万立方米，能耗与国外进口技术相比进一步降低了30%，实现了清洁生产，大幅降低物料消耗和生产成本。
而污染最严重的，当属生产过程中的另一副产品四氯化硅。这是种腐蚀性极强、难以保存的有毒液体，不能自然降解。如果将它倾倒或掩埋，水体将被严重污染，土地会变成不毛之地。...评估包含12项指标：制造商的延伸责任、产品回收及循环利用、供应链责任、化学品减量使用、企业为可持续发展所做的努力，以及产品生命周期分析等。
四氯化硅是多晶硅生产过程的中间产品，合资公司将购买该产品用于生产气相法二氧化硅和高纯四氯化硅，同时，其副产物将返回江苏中能进行循环利用，确保了多晶硅生产过程的零排放目标。
目前像保利协鑫这样拥有国际国内先进技术的多晶硅企业，都已通过冷氢化技术将四氯化硅转变为三氯氢硅重新到系统中循环，少量杂质也得到回收利用处理，从而实现清洁生产，对环境的影响也大为降低。
近几年,随着四氯化硅冷氢化等技术研发与推广,实现了将多晶硅生产过程中产生的95%的副产物四氯化硅氢化转化为三氯氢硅原料,剩余约5%含杂质四氯化硅经提纯后用于生产气相白炭黑或其他有机硅产品,真正做到物料闭式循环利用
目前像保利协鑫这样拥有国际国内先进技术的多晶硅企业，都已通过冷氢化技术将四氯化硅转变为三氯氢硅重新到系统中循环，少量杂质也得到回收利用处理，从而实现清洁生产，对环境的影响也大为降低。
目前，国内多晶硅企业普遍通过冷氢化技术将四氯化硅转变为三氯氢硅重新投入到系统中循环，含杂质较多的四氯化硅则通过烧制气相白炭黑或水解中和处理排放，从而实现清洁生产，对环境的影响也大为降低。
通过循环利用，副产物四氯化硅可转化为生产多晶硅的原料三氯氢硅，单程转化率大于26％，实现了变废为宝。...从中电投集团获悉，日前，中电投黄河公司新能源分公司成功研发出国内首套完整的冷氢化技术，实现了多晶硅生产中副产物四氯化硅循环回收利用，成功解决了制约我国多晶硅行业发展的四氯化硅转化技术难题，打破了国外对这一先进工艺的垄断
，部分企业也投入开展了硅烷法、流化床等技术的研发;五是污染的问题早已得到解决，副产物四氯化硅等都在生产中循环利用，企业也多渠道开发多晶硅副产物制备高附加值产品，增强综合竞争力。...国内企业大面积停产，企业普遍亏损，平均产能利用率不足40%，产业整合压力增大。
据了解，宜昌南玻专门引进国际先进36对棒还原炉，美国dei公司最先进的冷氢化工艺和全球最大的冷氢化炉，采用优化的天津大学差压耦合精馏工艺等，对能量进行最大化的综合利用，对四氯化硅、二氯二氢硅等物料进行了循环利用
通过高性能气相二氧化硅制备工艺技术研究和气相二氧化硅表面处理及尾气循环利用技术研究两个课题，实现利用多晶硅生产副产物四氯化硅生产高品质气相二氧化硅的关键技术突破，成功建成年产2000吨生产线，在进一步延伸产业链的同时实现大规模多晶硅生产线中物料的完全闭路循环
青海省科技厅组织有关专家对青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司承担的青海省123科技支撑工程项目多晶硅生产四氯化硅循环利用产业化技术进行了验收和成果鉴定。...该项目引进国外先进的氢化炉硅粉给料系统及反应器，在泡罩改造改善四氯化硅低温氢化流化床气体分布结构上进行再创新，通过对流化床阻力降、催化剂添加量、氢气与四氯化硅的摩尔比等工艺条件上进行了优化，提高四氯化硅生产三氯氢硅的单程转化率达到
2010年10月经省科技厅高新处批准，多晶硅生产四氯化硅循环利用产业化技术研究项目正式立项。...与会专家通过鉴定认为：中电投新能源分公司承担的多晶硅生产四氯化硅循环利用产业化技术研究项目的创新点在于，能通过化学反应将多晶硅生产过程中产生的副产物四氯化硅转化成生产多晶硅的原料三氯氢硅，实现副产物的综合回收利用
投资30多亿元建成十套氯氢化装置，实现四氯化硅循环利用装置与多晶硅总产能的全面匹配，实现零排放，企业的循环经济系统可将副产物全部回收利用，既彻底实现了清洁生产，又确立了企业生产成本领先全球的行业地位。
闭路循环的使用可以有效解决四氯化硅以及三氯氢硅的排放问题，并达到回收并重复利用的目的。而国内一些四氯化硅事故中出现的氢氟酸污染事故，可以通过使用碱中和的措施，将氟离子完全沉淀再做处理。
将多晶硅副产物四氯化硅转化为三氯氢硅原料，返回系统使用;少量不能氢化返回的低品质四氯化硅经提纯后用于气相白炭黑生产，副产物循环利用率99%以上，实现了闭路循环，有效地解决了副产物污染问题，显著降低了生产成本
经反复论证，董事会做出决策，投资30多亿元建成十套氯氢化装置，实现四氯化硅循环利用装置与多晶硅总产能的全面匹配，实现零排放。...按照目前各国普遍采用的生产工艺，每生产1吨多晶硅，副产四氯化硅15吨至19吨。如何处置大量副产品，是行业共同难题，国外先进企业一直对我国封锁技术。
经反复论证，董事会做出决策，投资30多亿元建成十套氯氢化装置，实现四氯化硅循环利用装置与多晶硅总产能的全面匹配，实现零排放。...循环经济系统将四氯化硅、氯化氢、氢气等系统反应过程和副产物全部回收利用，既彻底实现清洁生产，也确立了中能硅业多晶硅生产成本领先全球的行业地位。
光伏行业污染问题主要存在于上游多晶硅制造企业，多晶硅生产的副产物主要为四氯化硅，1吨多晶硅对应10-20吨四氯化硅，四氯化硅废液如果直接排放处理会对环境造成极大危害。
国家863计划项目《多晶硅副产物利用关键技术研究》验收会多晶硅副产物四氯化硅的综合利用一直是多晶硅规模化生产的技术瓶颈，即便采用氢化技术将四氯化硅转化为三氯氢硅循环利用后，仍有一定量的残液四氯化硅需要回收处理
多晶硅生产中确会产生大量四氯化硅(一种高污染剧毒废液)，如采用闭环改良西门子法生产完全可以确保废液在封闭系统内得到处理，便不会排放任何污染。前述人士对记者说。...对此观点，《报告》给予了认同，并指出实现光伏产业清洁生产的关键技术包括多晶硅生产中的冷氢化技术和闭路循环技术、硅片切割使用peg砂浆循环利用技术，以及硅片切割中将钢线替换为金钢线等。
比如，对四氯化硅等危险化学品，首先可以通过冷氢化技术提高其转化率，再通过使用闭路循环解决四氯化硅以及三氯氢硅的排放问题，达到回收并重复利用的目的。
改良西门子法即在西门子法的基础上增加了尾气回收和四氯化硅氢化工艺，实现了生产过程的闭路循环，既可以避免剧毒副产品直接排放污染环境，又实现了原料的循环利用、大大降低了生产成本(针对单次转化率低)。
