据悉，青海省两家多晶硅生产企业已基本实现了四氯化硅废液的循环利用。亚洲硅业(青海)有限公司目前每天生产多晶硅会产生四氯化硅271吨，通过高温氢化处理全部转化为三氯氢硅，整个多晶硅生产实现闭环处理。青海黄河上游水电开发有限责任公司采用低温氢化方法，将四氯化硅、氯化氢、氢气与硅粉在500℃下反应产生三氯氢硅，实现了工艺装置的循环闭路生产。为避免废液污染，采用将四氯化硅通过高温氢化、低温氢化或氯化氢的方法就地转化为多晶硅生产的中间产品三氯氢硅，是解决四氯化硅循环利用变废为宝的有效途径。