晟成光伏空间型原子层沉积量产工艺及 装备开发项目基于空间式sald的技术，研究适合于钙钛矿电池电子传输层sno2膜层以及封装阻水层al2o3膜层的原子层沉积技术，结合晟成光伏的钙钛矿电池中试线的验证测试
光伏原子镀膜技术在晶硅电池方向，可以应用于perc电池的al2o3层，topcon电池的sio2层以及hit电池的tco的缓冲层等；在钙钛矿电池方向也有诸多应用，如al2o3薄膜作为钙钛矿电池及叠层组件的封装防潮层保护壳
我国部分高效电池生产设备及关键零部件仍依赖于进口，例如发射极及背表面钝化电池（perc）生产用背表面al2o3镀膜设备产能70%以上集中在欧洲和韩国企业，n型双面钝化电池（n-pert）高温硼扩散炉80%
1.2 激光开槽作用激光开槽是利用激光在硅片背面进行打孔或开槽，将部分al2o3与sinx薄膜层打穿露出硅基体，背电场通过薄膜上的孔或槽与硅基体实现接触。1.3激光加工过程1.
perc太阳能电池在背面金属与si之间沉积al2o3/sinx叠层钝化膜，利用场钝化和化学钝化对背表面实现了优异的钝化效果，提高了电池voc。...下图2和图3分别为fraunhofer-ise 的单晶钝化接触太阳能电池的效率提升及钝化性能改善曲线，从中可以看到钝化接触技术对于效率提升的潜力。
常见电池结构大多受钝化思路影响：良好的钝化接触可以在最大化降低接触表面的载流子负荷速率的同时保持电池较好的电学性能，近年来产业中常见的perc电池（背面al2o3/sinx（sio2）叠层钝化）、topcon
2012年，牛津大学henry snaith将电池中的tio2用铝材（al2o3）进行了代替，这样钙钛矿在电池片中就不仅是光的吸收层，也同样可作为传输电荷的半导体材料。
2)单晶perc双面光伏组件。图2为单晶perc双面太阳电池结构。perc电池即钝化发射及背局部接触电池，采用al2o3膜对电池背表面进行钝化以提高电池转换效率。
这种现象是由于在实际生产中硅片表面粗糙造成，粗糙的表面造成al2o3薄膜分布不均匀，局部区域的al2o3薄膜厚度过低，从而影响了钝化效果，随着薄膜整体厚度的增加，al2o3薄膜的覆盖率逐步增加，使得al2o3
牛津大学光电转换效率：15％2013年，牛津大学的亨利˙司奈斯（henrysnaith）将电池中的tio2用铝材（al2o3）代替，钙钛矿不仅成为了光的吸收层，也同时是传输电荷的半导体材料。
于是就在同年，牛津大学的亨利司奈斯（henrysnaith）将电池中的tio2用铝材（al2o3）进行了代替，这样钙钛矿在电池片中就不仅是光的吸收层，也同样可作为传输电荷的半导体材料。
引起业界高度关注近两年来，国际诸多设备制造商陆续推出背面钝化技术（及设备），即金属背部钝化层（backsidepassivation）技术，该技术主要就是将al2o3薄膜，作为p型太阳能电池背面钝化膜，
托尔说，perc和ibc技术获利于钝化的铝氧化物(al2o3)。与此同时，se电池设计靠油墨印刷或离子注入转动。...cigs和cdte薄膜。生产设备革新有助于提高生产效率和降低生产成本。cigs模块生产据说是最多元化的制造技术。
首先对单晶硅片进行表面绒面制作，经过清洗处理后，在绒面表面上沉积al2o3薄膜，通过调整al2o3薄膜的厚度可以调整电池表面的反射率。
近期设备市场积极凝聚推出的新技术之一，即是金属背部钝化层(backsidepassivation)，太阳能业者解释，该技术主要是将al2o3薄膜作为p型太阳能光伏电池背面钝化膜或n型电池正面，主要目的就是让阳光在电池中产生的电子及电动可安全的到达电路
近期设备市场积极凝聚推出的新技术之一，即是金属背部钝化层(backside passivation)，太阳能业者解释，该技术主要是将al2o3薄膜作为p型太阳能光伏电池背面钝化膜或n型电池正面，主要目的就是让阳光在电池中产生的电子及电动可安全的到达电路
富士胶片通过在al箔上使用阳极氧化法形成al2o3层，制作出了兼具金属箔耐热性和树脂薄膜绝缘特性的底板 ，从而实现了此次的成果。底板上依次重叠了mo层、cigs层、cds层及zno层。
