，优势资源整合，基础研究与产业化应用研究优势互补，开发了大产能大幅宽空间原子沉积薄膜的量产设备及工艺。...晟成光伏空间型原子层沉积量产工艺及 装备开发项目基于空间式sald的技术，研究适合于钙钛矿电池电子传输层sno2膜层以及封装阻水层al2o3膜层的原子层沉积技术，结合晟成光伏的钙钛矿电池中试线的验证测试
光伏原子镀膜技术在晶硅电池方向，可以应用于perc电池的al2o3层，topcon电池的sio2层以及hit电池的tco的缓冲层等；在钙钛矿电池方向也有诸多应用，如al2o3薄膜作为钙钛矿电池及叠层组件的封装防潮层保护壳
我国部分高效电池生产设备及关键零部件仍依赖于进口，例如发射极及背表面钝化电池（perc）生产用背表面al2o3镀膜设备产能70%以上集中在欧洲和韩国企业，n型双面钝化电池（n-pert）高温硼扩散炉80%...二是鼓励投资薄膜电池导电玻璃生产、高新太阳能电池生产专用设备制造。《目录》鼓励“高技术绿色电池制造（含太阳能电池）”“薄膜电池导电玻璃、太阳能集光镜玻璃、建筑用导电玻璃生产”等。
1.2 激光开槽作用激光开槽是利用激光在硅片背面进行打孔或开槽，将部分al2o3与sinx薄膜层打穿露出硅基体，背电场通过薄膜上的孔或槽与硅基体实现接触。1.3激光加工过程1.
perc太阳能电池在背面金属与si之间沉积al2o3/sinx叠层钝化膜，利用场钝化和化学钝化对背表面实现了优异的钝化效果，提高了电池voc。...钝化性能需通过后续退火过程激活，si薄膜在该退火过程中结晶性发生变化，由微晶非晶混合相转变为多晶。
（来源：微信公众号“老成之见”）02支撑评级的要点hjt电池实验室转换效率突破25%：含本征非晶硅薄膜的非晶硅/晶体硅异质结（hit/hjt）电池由于非晶硅薄膜优秀的钝化效果，转换效率近年在晶硅电池中位居前列
“钙钛矿薄膜易于受到水分、氧气、紫外光照等因素影响而引起薄膜降解，从而导致电池性能逐步衰退，而...2012年，牛津大学henry snaith将电池中的tio2用铝材（al2o3）进行了代替，这样钙钛矿在电池片中就不仅是光的吸收层，也同样可作为传输电荷的半导体材料。
perc电池即钝化发射及背局部接触电池，采用al2o3膜对电池背表面进行钝化以提高电池转换效率。...在硅片背表面依次沉积厚度为5～10nm的i-a-si:h薄膜、n型非晶硅薄膜(n-a-si:h)形成背表面场。
这种现象是由于在实际生产中硅片表面粗糙造成，粗糙的表面造成al2o3薄膜分布不均匀，局部区域的al2o3薄膜厚度过低，从而影响了钝化效果，随着薄膜整体厚度的增加，al2o3薄膜的覆盖率逐步增加，使得al2o3
牛津大学光电转换效率：15％2013年，牛津大学的亨利˙司奈斯（henrysnaith）将电池中的tio2用铝材（al2o3）代替，钙钛矿不仅成为了光的吸收层，也同时是传输电荷的半导体材料。...在薄膜太阳能电池日渐兴起的今天，cigs薄膜太阳能电池几乎占据了大半个版面。但是作为太阳能电池家族中的一员，钙钛矿太阳能电池却慢慢崭露头角。
而目前最热门的研究领域则是钙钛矿型甲胺铅碘薄膜太阳能电池（下文简称钙钛矿太阳能电池），从2009年到2014年的5年间，光电转换效率便从3.8%跃升至19.3%，提高了5倍。...于是就在同年，牛津大学的亨利司奈斯（henrysnaith）将电池中的tio2用铝材（al2o3）进行了代替，这样钙钛矿在电池片中就不仅是光的吸收层，也同样可作为传输电荷的半导体材料。
引起业界高度关注近两年来，国际诸多设备制造商陆续推出背面钝化技术（及设备），即金属背部钝化层（backsidepassivation）技术，该技术主要就是将al2o3薄膜，作为p型太阳能电池背面钝化膜，
托尔说，perc和ibc技术获利于钝化的铝氧化物(al2o3)。与此同时，se电池设计靠油墨印刷或离子注入转动。...cigs和cdte薄膜。生产设备革新有助于提高生产效率和降低生产成本。cigs模块生产据说是最多元化的制造技术。
首先对单晶硅片进行表面绒面制作，经过清洗处理后，在绒面表面上沉积al2o3薄膜，通过调整al2o3薄膜的厚度可以调整电池表面的反射率。...研究结果表明，al2o3薄膜兼具优异的钝化性能及优异的减反性能，从而能够在获得优异硅表面钝化特性的条件下获得优异的电池减反特性，提高电池的光电转换效率，并有效降低电池的工艺成本，有极强的产业化应用前景。
近期设备市场积极凝聚推出的新技术之一，即是金属背部钝化层(backsidepassivation)，太阳能业者解释，该技术主要是将al2o3薄膜作为p型太阳能光伏电池背面钝化膜或n型电池正面，主要目的就是让阳光在电池中产生的电子及电动可安全的到达电路
近期设备市场积极凝聚推出的新技术之一，即是金属背部钝化层(backside passivation)，太阳能业者解释，该技术主要是将al2o3薄膜作为p型太阳能光伏电池背面钝化膜或n型电池正面，主要目的就是让阳光在电池中产生的电子及电动可安全的到达电路
富士胶片通过在al箔上使用阳极氧化法形成al2o3层，制作出了兼具金属箔耐热性和树脂薄膜绝缘特性的底板 ，从而实现了此次的成果。底板上依次重叠了mo层、cigs层、cds层及zno层。...到目前为止的研究报告显示，此前的柔性cigs太阳能电池，在金属箔上的转换效率为13.2%，在树脂薄膜上为7.5%。但一直存在金属箔难以确保电绝缘，树脂薄膜无法承受高温工艺等问题。
