10月13日,2023年“科创江苏”创新创业大赛装备制造领域总决赛在徐州举行。来自全省各地的高校、科研机构、高新企业的29组选手现场交锋,经过激烈角逐,由晟成光伏杨星博士带来的项目——空间型原子层沉积量产工艺及装备开发,荣获装备制造创业组一等奖。
本届“科创江苏”创新创业大赛以“科技自立自强,双创驱动发展”为主题。大赛自创办以来,坚持以赛促创,持续推动大赛成果转化应用,推动优质项目孵化落地,实现项目与地方产业的协同对接,逐步打造成为选拔、培训、推介、落地、培育的全链条双创服务平台,为我省经济社会高质量发展注入新动能。
晟成光伏空间型原子层沉积量产工艺及 装备开发项目基于空间式SALD的技术,研究适合于钙钛矿电池电子传输层SnO2膜层以及封装阻水层Al2O3膜层的原子层沉积技术,结合晟成光伏的钙钛矿电池中试线的验证测试,优势资源整合,基础研究与产业化应用研究优势互补,开发了大产能大幅宽空间原子沉积薄膜的量产设备及工艺。
原子层沉积技术在光伏、半导体领域均有着广阔的应用前景与良好的经济效益。当前,ALD设备国产化市场占有量仅为2%,在这一背景下,晟成光伏积极响应国家创新发展战略,致力于提高国内ALD设备的研发水平和生产能力,以满足不断增长的市场需求。未来,晟成光伏将在技术创新的道路上继续努力前行,为更清洁、可持续的能源转型贡献更多创新和力量。