本文介绍南昌大学光伏研究院热丝CVD装备国产化的改进探索。
（来源：微信公众号“光伏测试网”ID：TestPV）
HWCVD Vs. PECVD
HWCVD Vs. PECVD
一次8片；
可实现 in、ip、双面TCO的不破真空连续镀膜
自行设计、国内公司生产
热丝加工
新热丝做的本征非晶硅的钝化效果明显优于对比热丝。
a-SiOx:H 制备过程中的热丝氧化问题可通过工艺参数的 调节解决
镀膜+热处理 温度协同作用
仅衬底加热，220℃较优！
衬底温度100℃、275℃ 热处理最优！
镀膜+热处理 温度协同作用
黑色：热处理前 红色：热处理后
适当降低基 片温度，镀 膜后热处理 获得较好少 子寿命值。
IN、IP两面连续镀（片子不接触大气）
不破：IN、IP连续镀膜
破：IN镀膜后退出真空 腔体外，停留40min。
连续镀明显优
小 结
热丝可以在国内解决；
IN、IP连续镀膜不破真空的设计可行；
镀膜温度与后处理加热的工艺协同调控，钝化效果更优。
原标题：HIT太阳电池生产技术研发进展
