因此硅片生产的全部过程中，二氧化碳的排放、化学废液的处理、含氯气体或液体的泄漏，都将对环境造成不同程度的污染。...无论是通氯产生四氯化硅，还是通过盐酸处理产生三氯氢硅，都要经过精馏提纯，再由氢还原凝结为高纯度的多晶硅原料。这一过程很大部分是在高温下进行。
国内某期刊发表《太阳能产业真相》,2008年3月9日,美国某知名媒体援引该文的主要观点,发表题为《中国太阳能生产厂家将工业垃圾倾倒在厂后》的报道,大肆渲染中硅高科300吨生产线调试过程中的一次偶发阀门泄漏事件...通过用水或碱性水对废气进行淋洗,利用氯硅烷极易水解和酸碱中和的原理,将废气中的主要成分水解成二氧化硅和盐酸,盐酸与碱反应形成中性水,进一步处理后达标排放;二氧化硅通过压滤固化后运至政府指定垃圾场或填坑铺路
对生产过程尽量采用自动控制系统，提高自动控制水平；在氯气、氯化氢、三氯氢硅、盐酸、四氯化硅容易泄漏的部位，加强通风并设置可燃、有毒气体检测报警装置；为作业人员配发合格适宜的防毒、防尘、防灼伤等防护用品，
韩国熊津多晶硅公司生产多晶硅的工厂发生盐酸泄漏，760名当地居民被疏散。工厂坐落在韩国首都首尔西南约270公里处。据当地警方代表称，当地时间约11时200吨盐酸蓄存罐之一发生泄漏。
