项目拟租赁合肥京东方显示技术有限公司3号建筑楼4层总建筑面积约1.8万平方米，购置磨边机、激光划线机、湿洗机、磁控溅射机、干洗机、 涂布机、热烘烤炉、蒸镀机、原子层沉积装置、反应式等离子体沉积机、封装组件&自动包装线、层压机、椭偏仪
3) 检测设备：膜厚测试设备se400 椭偏仪、d8-4 积分反射仪、少子寿命测试仪wt-2000、jj224bc 电子天平、蔡司axio scope a1 显微镜、gemini sigma 300 sem
当al2o3镀膜时间为60s时，使用sentechse800型椭偏仪测试al2o3厚度为25nm，假定al2o3薄膜生长速率恒定，通过调整镀膜时间来调整al2o3薄膜厚度。
具体公式为：平均膜厚*平均折射率=第一层折射率*第一层膜厚x+第二层折射率*第二层膜厚（平均膜厚-x），其中x为第一层减反射膜（靠近硅片的底层减反射膜）厚度，单位nm；硅片的平均膜厚和平均折射率可以利用椭偏仪进行测试
这两方面的问题一直阻碍着全光谱椭偏仪在晶体硅电池的运用。系科光电科技(上海)有限公司，(简称系科仪器)在上海snec展会上成功展出的rise型光谱椭偏仪，就成功地解决了太阳能电池检测这两方面的问题。
经过持续的创新发展，目前已成为国际高端激光椭偏仪的主要厂商。...量拓科技推出用于太阳电池表面减反膜镀层测试的，高精度高速激光椭偏仪：empro，0.01纳米测量精度，0.6秒完成测量。量拓科技展位号n1馆803号，可进行现场测量，欢迎莅临参观。
北京量拓科技有限公司将于2012年5月16-18日在上海新国际博览中心参加snec第六届(2012)国际太阳能产业及光伏工程(上海)展览会，展示激光椭偏仪系列产品。公司展位号：n1馆803号
