三溴化硼

目前越来越多的厂商开始使用三氯化硼作为硼源，虽然三氯化硼的副产物对石英器件基本无损伤，但受制于b-cl键能较大，扩散均匀性又略差于三溴化硼。

在一次使用太阳能电池板的实验中，大约1.5公斤三溴化硼暴露在空气中，以气体形态泄漏。三溴化硼无色，有刺激气味，可以导致肺炎等关联肺部的疾病。吸入三溴化硼气体后如果没有大量吸氧，可能致人死亡。