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ICP-PECVD

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  • SENTECH携手东方集成进军中国光伏市场

    si500d等离子沉积系统是icp-pecvd设备,用于在基片上沉积 siox, sioxny或 siny薄膜。沉积薄膜的厚度、折射率、应力可以简单的、连续的调节。...sentech icp-pecvd设备的安装,由德国原厂技术支持工程师和东方集成工程师共同完成,由sentech和东方集成共同承担售后保修,具有标志性的历史意义。

    烧结炉及其他 北极星太阳能光伏网 2012年03月19日
  • SINGULUS引进ICP-PECVD技术改进Silex系统

    日前,singulus技术公司宣布研制了一种新的电感耦合等离子体(icp-pecvd)覆膜设备,该设备用于晶体硅太阳能光伏组件的生产,将在第26届德国汉堡的eu—pvsec上展出。

    其他 Solarbe 2011年08月10日