si500d等离子沉积系统是icp-pecvd设备,用于在基片上沉积 siox, sioxny或 siny薄膜。沉积薄膜的厚度、折射率、应力可以简单的、连续的调节。...sentech icp-pecvd设备的安装,由德国原厂技术支持工程师和东方集成工程师共同完成,由sentech和东方集成共同承担售后保修,具有标志性的历史意义。
日前,singulus技术公司宣布研制了一种新的电感耦合等离子体(icp-pecvd)覆膜设备,该设备用于晶体硅太阳能光伏组件的生产,将在第26届德国汉堡的eu—pvsec上展出。