背膜工艺

生产的电池效率低是设备投产过程中亟待解决的问题，因此，本文以a型416管式pecvd机台生产的电池效率偏低为研究对象，重点分析了其与b型308管式pecvd 机台的差异，调整了背膜工艺，从而提高了电池效率...制造工艺主要的反应方程式为：原b型308管式pecvd机台生产的太阳电池的膜厚均匀性为2.56%，效率为19.68%。2.1 方案1在a型416管式pecvd机台原工艺压力的基础上提升压力和降低压力。