10月8日,晶盛机电成立控股子公司浙江晶盛光子科技有限公司(晶盛机电持股80%,杭州鸿豪企业管理合伙企业持股20%),主要负责光伏电池片设备业务。
据悉,晶盛光子主营管式PECVD、LPCVD、硼扩和退火,以及单腔室多舟ALD和舟干清洗等多种太阳电池工艺设备。
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