硅片切片作为硅片加工工艺流程的关键工序,其加工效率和加工质量直接关系到整个硅片生产的全局。切片工艺具有很高的技术要求:切割精度高、表面平行度高和厚度误差小;断面完整性好,消除拉丝、刀痕和微裂纹;提高成品率,缩小钢丝切缝,降低原材料损耗;提高切割速度,实现自动化切割。从世界范围来看,全球硅片多线切割设备市场长期被瑞士的HCT公司、瑞士的梅耶博格公司和日本的NTC公司所瓜分。此外,还有很多相关的设备制造企业纷纷介入,比如日本的高鸟公司、安永公司、不二越机械工业株式会社、日平外山公司等专门推出了针对太阳能硅片切割的机型。北极星太阳能光伏网编辑按照已知销售商数

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北极星编辑推荐(三十二):十大硅片切割设备企业

2014-01-10 09:11 来源: 北极星太阳能光伏网(独家) 

硅片切片作为硅片加工工艺流程的关键工序,其加工效率和加工质量直接关系到整个硅片生产的全局。切片工艺具有很高的技术要求:切割精度高、表面平行度高和厚度误差小;断面完整性好,消除拉丝、刀痕和微裂纹;提高成品率,缩小钢丝切缝,降低原材料损耗;提高切割速度,实现自动化切割。

从世界范围来看,全球硅片多线切割设备市场长期被瑞士的HCT公司、瑞士的梅耶博格公司和日本的NTC公司所瓜分。此外,还有很多相关的设备制造企业纷纷介入,比如日本的高鸟公司、安永公司、不二越机械工业株式会社、日平外山公司等专门推出了针对太阳能硅片切割的机型。北极星太阳能光伏网编辑按照已知销售商数量(非静态指标)列出了国内前十名硅片切割设备企业,仅供参考。

1、江苏华盛天龙光电设备股份有限公司

江苏华盛天龙光电设备股份有限公司成立于2001年,是一家专业从事光伏、光电专用设备的研发、生产和销售的上市公司。公司总部位于江苏省金坛市,园区占地面积178,620平方米,拥有八家子公司。核心开发团队90余人,其中博士、教授级高工及外国专家20余人,管理团队拥有博士及硕士20余人,高级经济师6人。

公司主要产品包括单晶硅生长炉,多晶硅铸锭炉,MOCVD设备及与之配套的石墨热场、保温材料及石英坩埚,硅棒、多线切片机,单晶硅切断机,多晶硅切方滚磨机等光伏生产设备;宝石炉、倒角机等LED生产设备,部分产品批量进入海外市场。

公司拥有国家级工程中心、院士工作站、博士后工作站等科研平台及硅单晶生产、多晶硅铸锭实验基地,具备光伏、光电生产技术多项研究实验设备,保障了创新能力和新产品开发水平。

公司已通过ISO9001:2000质量管理体系认证,质量信用A级企业,先后承担国家电子部、省、市级科技攻关项目8项。并获得江苏省百强民营科技企业、江苏省高新技术企业等称号,拥有专利技术30余项。

2、中国电子科技集团公司第四十五研究所

中国电子科技集团公司第四十五研究所创立于1958年,是国内专门从事电子元器件关键工艺设备技术、设备整机系统以及设备应用工艺研究开发和生产制造的国家重点科研生产单位。45所以光学细微加工和精密机械与系统自动化为专业方向,以机器视觉技术、运动控制技术、精密运动工作台与物料传输系统技术、精密零部件设计优化与高效制造技术、设备应用工艺研究与物化技术、整机系统集成技术等六大共性关键技术为支撑,围绕集成电路制造设备、半导体照明器件制造设备、光伏电池制造设备、光电组件制造和系统集成与服务等五个重点技术领域,开发出了电子材料加工设备、芯片制造设备、光/声/电检测设备、化学处理设备、先进封装设备、电子图形印刷设备、晶体元器件和光伏电池等八大类工艺设备和产品,服务于集成电路、光电元器件与组件、半导体照明和太阳能光伏电池四大行业。

经过多年的技术积累,特别是“十一五”以来的技术进步与创新,45所已经掌握了专用设备的自身规律和特点、专用设备开发与制造的基本思想和路径,攻克了六大共性关键技术,形成了十多种市场前景良好且拥有自主知识产权的产品,培养出了一支掌握正向系统设计思想与方法、理论水平高实际经验丰富、团队精神好、特别能战斗的科研、生产、市场开发和经营管理队伍,建成了较为完善的科研开发、工艺试验和生产制造平台。“十二五”期间,45所将在国家有关部委、北京市和亦庄开发区的支持帮助下,在集团公司的直接领导下,继续坚持推进人才兴所、核心技术拥有、质量领先、做实做精做强做大、系统服务和军民互动六大战略,不断提升特殊定制与快速保障、自主创新、系统集成与服务三种能力,实现材料加工设备、化学处理设备、光刻设备、平坦化设备、先进封装设备和电子图形印刷设备产业化生产制造,全面替代进口,批量化走向世界。到2015年,把45所建设成为国内设备行业中的领导者,在诸多核心要素方面具备冲击世界同业前三强的基础条件,实现总收入60亿元;到2020年,把45所建设成为世界同行业前三强,实现总收入200亿元,进入中关村国家自主创新示范区企业500强。

3、无锡开源太阳能设备科技有限公司

无锡开源太阳能设备科技有限公司由我国机械工业大型骨干企业、国家520家重点联系企业、国家火炬计划重点高新技术企业——无锡开源机床集团有限公司(无锡机床厂)投资成立。

公司依托集团在全国机床工具行业中的卓越地位,六十余年专业生产无心磨床、内圆磨床、轴承磨床、轧辊磨床、超精研机等磨床加工设备制造历史,以及拥有一批欧美高精加工装备和齐全的计量检测设备等优势,致力于太阳能光伏产业硅加工及LED蓝宝石、半导体、磁性、稀土等硬脆材料加工设备的开发和应用,先后研制开发从开方、截断、磨面、滚圆、倒角、切片到开槽的成系列产品,其中多项产品技术拥有国家专利,产品技术接近国际先进水平,处于国内领先地位,与同行其他企业相比,具有明显的技术、装备、人才、管理优势。产品已在赛维LDK、河北晶龙、常州天合、常州亿晶、徐州协鑫、上海卡姆丹克、隆基股份、青海华硅、山西潞安、江阴海润、江苏兆晶、湖南中电48所等知名企业广泛使用,远销江西、青海、宁夏、山西、浙江、陕西、河北、湖南、湖北等省市自治区,由此成为国内进军光伏产业、LED蓝宝石、半导体领域专用设备的主流供应商。

公司未来发展目标:建立硅加工、LED蓝宝石及半导体、磁性、稀土等硬脆材料加工装备国产化研发基地,形成自主开发具有技术创新成果的核心设备产业链,体现“国家队”水平,引领行业发展潮流。

4、宁夏晶阳自动化设备有限公司

中澳合作宁夏晶阳自动化设备有限公司是国内新兴电子设备专业生产厂家,主要产品有软轴硅拉晶炉、区熔炉、铸锭炉、精密硅线切割机、其他半导体相关设备。公司技术力量雄厚,研制开发能力强大,现有技术人员16人,工科博士2人,硕士3人,澳大利亚籍技术专家多人,拥有一支专业、敬业的技术服务队伍,拥有一批开拓、进取的销售人员,与后台精密的管理环节相衔接,为我们公司赢得了良好的声誉。

公司位于宁夏国家级工业开发区大武口,占地面积七万多平方米。厂区内建有万余平方米的金属加工车间、产品总装调试车间、硅单晶炉试机及生长车间、电气组立车间。用于科研和生产的检验检测设备数拾台。主要的检验、检漏设备从德国引进。加工设备有数控加工中心、龙门刨床、龙门铣床、立车、镗床、油压机、抛光机及各类通用机床加工设备;焊接设备有自动氩弧焊机、埋弧焊机。

晶阳公司以产品质量为企业生存之根本,科技创新为企业发展之基石.借鉴国外先进技术,创新开发行业顶尖产品,现除国内大量行业产家有合作意向外,已有澳大利亚、韩国、越南、日本等意向客户来公司考察。

5、大连连城数控机器股份有限公司

大连连城数控机器股份有限公司(简称连城机器),是一家面向光伏与半导体产业,从事设备研发制造的国家级高新技术企业。公司始建于2007年9月,厂区占地27400平方米,地址位于大连市甘井子区营城子工业园。

连城机器产品主要包括:硅料切方、切断、切片等多种型号多线切割设备,该设备系列产品以线锯技术和硬脆材料加工工艺为研发核心,紧密结合客户需求,全面实现高精度、高速度、低损耗切割。公司现已拥有十多项实用新型专利及发明专利,其中张力控制技术、收放线电机和主电机的同步技术居国际领先水平,填补了我国光伏产业晶硅体材料加工设备生产领域的空白。QF系列单、多晶多线切方机国内销量稳居第一,已成为光伏行业中众多知名企业替代进口的首选设备,新研制的QP系列切片机产品经投放市场客户验证,整体性能达到国际同类产品先进水平。目前多线切割机年产能力达500台。

公司通过ISO9001:2008版质量管理体系认证。拥有多台龙门加工中心、大型卧式加工中心、大型立式加工中心、数控镗铣床、全机能数控车床、定梁式程控龙门导轨磨床、内外圆磨床、万能升降台铣床、带锯等各种大型数控机加设备。

连城机器是辽宁省首批百家新兴产业企业、辽宁省民营明星企业、大连市纳税信用等级A级企业。多线切方机产品获得第五届“中国半导体创新产品和技术”金奖,并被科技部等国家四部委评选为“年度国家重点新产品”。公司技术研发中心被辽宁省科技厅批准为“辽宁大连连城晶硅材料切割设备工程技术研究中心”。

6、上海日进机床有限公司

上海日进机床有限公司于1995年正式成立,是一家专业设计制造各类高精度电子材料加工专用设备的企业。公司现有产品种类已达数十种,适用于太阳能光伏、LED、光学玻璃、电子陶瓷、压电晶体、磁性材料等行业。产品不仅畅销全国十多个省市,且有定量出口日本及东南亚地区。2004年迁入上海松江泗泾工业园区,极大的提升了公司的规模和内涵,也为进一步开发高技术含量的机电一体化产品和将来的产业化提供了良好条件。

公司依托世界著名机床制造企业—日本日进工机株式会社;公司的主要管理人员和技术人员在日本长期研修,引进了日本日进的管理理念。独立开发出多种机电一体化设备,其中NVG-750THD(S)双轴精密平面磨床被认定为上海市高新技术产品;还获得发明专利8项,另有3项已申报的专利还在审查办理中。

早在2005年,公司就开始关注硅片多线钢丝切割机,对其机理和关键技术进行了研究。经过两年多的研发、探索。第一台6英寸、8英寸多线钢丝切割机NWS6X2设备调试完成,并具备了批量生产能力。

2007年,公司在开发成功多线钢丝切割机的基础上,又开发研制了多、单晶钢丝切方机,剖錠机,并已批量投放市场。

7、常州贝斯塔德机械科技有限公司

常州贝斯塔德机械科技有限公司成立于2010年2月,地处常州市钟楼经济开发区桂花路28号-1,占地面积100亩,建筑面积30000平方米。公司主营业务为制造及销售用于生产黑色和有色金属丝、绳、缆的工业设备、相关零部件及技术服务。目前产品主要有晶硅/蓝宝石切磨抛装备、钢丝制品装备、钢帘线装备三大系列。产品科技含量高,所有操作平台均由高配置电脑控制系统主导;其主要技术指标均达到国际同类产品先进水平,综合技术水平在全球领先。

公司以科技创新为主导,构筑自己专业的研发队伍。目前,技术研发团队是一支平均年龄约30岁的有激情、有活力的队伍,共50多人。三年多来共完成了三大系列几十个产品的研究与开发。公司研发中心1800平方米,设置机械、材料、自动化等实验室。公司非常重视在科技创新方面的投入,以加快产品技术研发速度;同时公司全面加强企业管理,坚持“质量至上技术领先顾客满意持续改进”的质量方针,以优质的产品和服务赢得市场。公司于2011年通过新标准高新技术企业认定。

公司主要客户以国内外大中型钢丝制品和光伏类生产企业为主。为确保公司在行业的领先地位,提升产品在国内市场的竞争力,公司计划投入巨资推进新产品的研发,确保每年开发多个新机型产品投放市场。公司结合国内外先进公司的技术优势并通过优化管理使运营成本最低、质量最好、效益最佳,力争在五年内使公司在该行业国内综合实力排列前茅。

公司在发展的同时将肩负应有的社会责任,力争为提升国内装备整体竞争力、带动产业升级尽一己之力。

8、苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司

苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司(以下简称赫瑞特)是由兰州赫瑞特投资(控股)集团有限公司(以下简称赫瑞特集团)于2010年6月投资的以生产、销售线切割电子专用设备为主的高科技企业。公司生产基地于苏州高新区科技城,占地约140余亩,总投资近2亿元。公司生产的线切割设备主要应用于光伏行业硅片(单晶硅、多晶硅)及电子玻璃、水晶、蓝宝石等材料切片加工,是苏州高新区作为新能源产业重点引进、培养、扶持的高成长性企业。公司拥有单体厂房近6万平方米,具有配套齐全的生产设计工作室、检测试验室、洁净装配室,拥有一流的线锯装配生产线。

切割设备制造产业发展基于苏州周边地区的资源优势,通过信息化、网络化形成完备的OEM、ODM制造体系,快速整合资源形成规模化线锯集成基地,取代进口,形成一流的具有自主知识产权的产品,提高产品的高附加值,实现线锯产业商业模式的创新。产品集成通过关键环节的控制以及植入具有自主知识产权的核心技术(控制器),有效地控制产品品质。其中关键构件加工设备采用指定的(MAZAK、SCHLEIEIFRING、DMG)等高端精密加工设备,拥有先进的海克斯康(HEXAGON)三维测量系统、长度仪、光学仪等先进测量设备,为高品质产品实现提供了保障。整机集成采用自主设计的无动力专用(主、支)柔性生产线,实现从部件到整机集成的模块化集成技术,其中拥有1万级和30万级的净化车间和计量室,用于主轴系统和关键部件的集成,内设生产线、自动轴承压力、检测、跑合、动平衡等环节的控制,保证了主轴集成精度,为线锯的品质提供了一流的环境及装备优势,同时采用先进的ERP管理系统,信息辐射至OEM商和产品集成末端,通过信息共享,实现准时生产(JIT),实现客户价值最大化。

公司目前采用全伺服驱动、多闭环控制、高速现场总线、能量回馈、高刚度布局的寿命设计等前沿技术理念自主研发生产了X07250×520-1D、X07250×400-1D、X07125×270-1U-O、X07100×130-1U-O型等大、中、小系列多线切割设备,拥有多项专利技术。具有性能稳定、维护方便、购置运行成本低、工艺适应性强、控制柔性化等特点,在国内率先满足了太阳能硅片和LED衬底材料宝石片切割的设备需求。苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司多线切割系列产品的批量化生产,满足了行业对设备高性能、高效率、高可靠的要求。

9、汉江机床有限公司

陕西汉江机床有限公司是1969年国家投资建成的精密螺纹磨床生产主导厂,机械工业大型骨干企业.主要生产精密螺纹磨床系列、蜗杆磨床、特种专机、精密测量仪器、高精度CNC精密机床和滚动功能部件等系列产品。

汉江机床有限公司现有员工2300多人,其中中级、高级科技人员近300人,公司设有国家级螺纹磨床研究所、陕西省滚动功能部件研究所,已取得省级以上科研成果70余项,多项产品填补了国家空白。2010年工业总产值3.21亿元,实现销售产值3.44亿元,实现利税5332万元。主要产品有SK7432×2M、×3M、×4M,SK7520×5M、×10M,CNC丝杠磨床、SKR7620内螺纹磨削中心、SK7720A蜗杆磨床、SK7032数控螺杆磨床填补了国家空白,曲轴磨床系列,内径定心花键轴磨床系列和数控凸轮轴磨床、变压器硅钢片滚剪线、三米数控直线导轨磨床、数控滑块磨床、精密测量仪等。2010年为太阳能光伏行业研制的GK4620数控多线硅片切割机在上海国际光伏展会上成功展出。公司还生产滚动导轨块、两坐标精密工作台、线性轴承、高速滚珠丝杠、空心丝杠、高速直线导轨等滚动功能部件产品。

公司是为国家数控机床专项改造重点配套的主要厂家,是中国机床工具工业协会副理事长单位,中国机床工具工业协会滚动功能部件分会理事长单位,中国机床工具工业协会磨床分会副理事长单位。滚珠丝杠副和直线滚动导轨付系列产品在全国首家通过了ISO9002质量认证,2003年1月,又率先完成了质量管理体系ISO9001:2000的换版工作。并连续三年获得“全国用户满意产品”称号。在2002年,公司被中国机床工具工业协会评选为“精心创品牌活动”全国十佳企业,2006年又获得中国工业行业“企业排头兵”企业、陕西省装配制造业三十强、“汉机”牌精密螺纹磨床被陕西省授予“陕西十大品牌”、汉中市政府授予“重合同,守信用企业”、“纳税免检单位”,陕西省“诚信先进单位”。

汉江机床有限公司在江苏昆山市和上海浦东建立了昆山分厂、浦东分厂,同时,在北京、上海、西安设有销售公司,在全国各地设立了代理机构,产品远销欧、美、亚、非三十多个国家和地区。

10、重庆源启科技发展有限公司

重庆源启科技发展有限公司是专门设计开发金刚石线加工设备的研发和技术服务的高科技公司,有很强的开发和工艺试验能力。

重庆神工机械制造有限责任公司是重庆机床(集团)有限责任公司(具有70年历史的原重庆机床厂,是国内国际知名的机床生产厂家)的全资子公司,拥有数控镗床、立式加工中心、立车、数控车床、各式磨床、滚齿机、及6米龙门刨铣床等生产设备及检验设备,神工公司是从事机床制造的专业厂家。

经过几年的努力,已开发研制成功高效、环保、节能、低成本的金刚石线(单晶)开方机;金刚石线切片机;多功能切割机。

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