合能阳光近期引进了PHYS-R80无接触硅片厚度电阻率测试系统。该系统检测硅片电阻率通过无接触法一次性检测,大大提高了检测硅片的速度，并避免了对被测硅片的损伤。成功解决了当前行业检测硅片电阻率必须先检测厚度的烦琐问题。 备注：传统测量硅片电阻率必须先用测厚仪测试硅片厚度,再用四探针法去检测电阻率,这种方法既占用时间又容易损伤被测物。PHYS-R80无接触硅片厚度电阻率测试系统