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生产的电池效率低是设备投产过程中亟待解决的问题，因此，本文以a型416管式pecvd机台生产的电池效率偏低为研究对象，重点分析了其与b型308管式pecvd 机台的差异，调整了背膜工艺，从而提高了电池效率
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